142 Betriebsleiter Unsere hochwertigen und präzisen Produkte für die Sensortechnik erfordern hohe Technologiekompetenz Diese auch für zukünftige Herausforderungen zu sichern ist die Aufgabe Kontakt GFS Gesellschaft für Sensorik GmbH Grubenstraße 2 78052 Villingen Schwenningen Telefon 49 7721 8475 0 Fax 49 7721 8475 75 info gfsgermany de www gfsgermany de Das Unternehmen Die GFS beschäftigt sich seit Jahren mit der Entwicklung und Herstel lung von Sensorelementen für Temperatur Druck und Kraft in Dünn schicht und Dickschichttechnologie Ein Schwerpunkt der Tätigkeit ist die Dünnschichttechnik auf Stahl für die Druckmesstechnik in sehr anspruchsvollen Anwendungen Die unter Reinraumbedingungen her gestellten Schichtsysteme lassen sich über Parameter bei der Schicht abscheidung bezüglich ihrer Funktionseigenschaften exakt modifi zieren Langzeitstabilität sehr kontrolliertes Temperaturverhalten der Funk tionsschichten und hohe Spannungsfestigkeiten der Isolationsschichten verbunden mit den sicherheitstechnischen Vorteilen des Stahlkörpers sind die wesentlichen Merkmale Bei GFS stellt die Beschichtungstech nik durch CVD und PVD Verfahren sowie die fotolithografi sche und nasschemische Strukturierung von Stahlkörpern die Kernkompetenz dar Mit modernster Laserabgleichtechnik erhalten die Dünnschichtwi derstände ihren präzisen Sollwert und die Messbrücken ihren Null punktabgleich Metallische Druckmesszellen sind im Nenndruckbereich von 1 bar bis 2000 bar erhältlich Auch die Dickschichttechnologie bei GFS ist für die Herstellung von Sensoren optimiert Mittels Präzisions siebdruck wird auf keramische Membrankörper die Dehnmessbrücke aufgedruckt Nach den Prozessschritten Tempern und Lasern bieten die Keramiksensoren für viele Applikationen eine kostengünstige Alter native Die Sensorelemente von GFS kommen als OEM Produkte bei diversen namhaften Sensorherstellern zum Einsatz Wir bieten Kundenspezifi sche Entwicklung und Produktion von dünn und dickschichtbasierten Sensorelementen OEM Sensorelemente für Druck Kraft und Temperatur Nickel Temperaturmesswiderstände Dünnschicht auf Stahl Drucksensoren Schlagworte Dickschichttechnik Druck Sensoren Dünnschicht Drucksensoren Keramik Drucksensoren Kraft Sensoren OEM Messelemente Strömungsmesselemente Dünnschichttechnologie Temperatur Sensoren

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